概述

光模块芯片的频域测试，是测量和评估光模块芯片频域带宽、3dB 截止频率、反射、差分参数、群延时、二阶互调、三阶交调等特性的关

键测试步骤，是晶片在片测试 、器件封装测试等工艺流程中的必须工序。

自动光电器件测试探针台支持电 - 光，光 - 电，光 - 光器件在片测试，高精 度的位移操作可以完成光纤的精密耦合包括 grating

coupling&Edge coupling 两种方式。

整体系统性能包括

◎支持 12 寸及以下晶圆以及单个器件的测试 ◎温度范围：-60℃ ~200℃ ◎选配双 CCD 成像系统分别对应垂直与水平光路

◎射频测试支持单 / 双端口射频校准，最高频率达 67GHz ◎搭配不同型号的网分满足供电与测试要求

◎ Grating coupling 与 edge coupling 光纤探针满足不同器件对光需求 ◎系统支持光眼图 & 误码 带宽 S 参数

◎自动耦合的电动光针座，六轴移动，50nm 量级位移精度 ◎高稳定隔振平台

系统硬件

1、自动光电测试探针台主体

2、射频电路

高精度高测试稳定性射频探针拥有较低的插入损耗以及高的射频端口匹配 性，支持在 -60℃至200℃环境下测试，配套对应射频校准件将校准端面从同轴端延申至共面端。

3.光纤光路

光电器件或者电光器件测试系统中 fiber coupling 精度会影响测试的准确性，系统提供光垂直耦合和光边耦合两种耦合方式搭配高精度的位移机构满足精密耦合需求。

全自动六轴光耦合针座保证快速准确的找到最大光功率耦合点。

定制的 Fiber holder 保证水平状态以及 Fiber 的更换便利性。

光纤光路特点：

垂直光路与水平光路对准操作协同外部电路或者光路电流光功率判断精确安全对准。

光学针座全自动六轴光耦合针座保证快速准确的找到最大光功率耦合点。

4、直流电路：

Coax 直流探针提供标准 BNC 接头，支持供电与测试操作。针座支持 XYZ 轴移动。

5、chuck 变温系统：

变温系统精度高，可达 ±1℃ , 升降温速度快，chuck 中心支持mm 级器件的吸附固定适用于 grating coupling 器件。高温 chuck 温度均匀性高，对于 edge coupling 器件可以通过边缘放置的形式满足精密变温需求。

测试仪表和模块

凡实目前联合罗德与施瓦茨 /keysight 和六幺四科技已经完成 400G 光模块芯片的研发测试 和生产测试线的频域测试方案。同时，面向未来800Gbps 光通信系统的 110GHz 频域和测试方案也已完成用户验证。NA-GOCA 光模块芯片频域测试方案采用“微波光子技术”，突破了传统方法对测 量分辨率和相位精确度的限制，实现微波频谱扫描向光波光谱扫描的映射，配合 电 - 光 、光 - 电和光 - 光校准技术，实现大带宽 、高精度、高分辨率的元器件频谱 响应测试 。在频率分辨率 、幅度分辨率 、相位精确度和动态范围等关键参数上，均实现大幅度提升。测参数包括：S 参数，3dB 截止频率，群延时，差分和共模参数等。

典型测试结果如下