主要子系统 3D 示意图

系统主要功能

◎近超高真空的样品测试环境 ◎原位高精度分子束蒸镀 ◎低噪音电学输运测试   ◎微区光电响应测试

◎微区荧光 / 拉曼光谱测试     ◎低温 / 变温光电测试    ◎支持多路气体引入        ◎方便的样品装载与系统操作

主要性能指标与参数

近超高真空的样品测试环境

机械泵 + 分子泵的两级串联泵系统在氮气充气情况下：

一小时抽气：~ 8× 10-7mbar

12 小时抽气：~ 8×10-8mbar

极限真空：<6 × 10-8mbar

原位高精度分子束蒸镀

1、可选低温、中温、高温蒸发源（温度区间 100-1100 oC 、1500

oC 、1800 oC ） 以及SAES Getter 碱金属源等，用于蒸镀有机分子、

金属氧化物、金属、碱金属等多种材料体系。

2、配有高精度石英晶振测膜仪，蒸镀速率可精确控制在 0.1 nm/min

以内。

低噪音电学输运测试

配备 16 个同轴 BNC 测量终端，与样品托引脚相连直流（DC）电

流测量噪音小于 10^-13 A 。

支持多路气体引入

通过气动阀门可控引入各种气体流。

微区光电与荧光拉曼测试

1、10X 和 50X 长焦物镜、精密调焦机构、定制照明与观察模块（LED

科勒照明、500W 像素 CMOS 相机等）。

2、荧光 / 拉曼激发模块：窄线宽拉曼激光 532 nm 和 633 nm（功

率 >20 mW）；双路 FC-PC 光纤接口输入，两档手动切换，内置

拉曼滤光片组；双光学元件插槽预留。

.3、荧光 / 拉曼激发模块：单路 FC-PC 光纤接口输出， 内置光纤耦合

模组；双光学元件插槽预留。

.4、光栅光谱仪与探测器：可选配 Princeton Instruments 的

SpectraPro HRS-500 光谱 仪和 PIXIS256E 科研级面阵 CCD 探

测器。

5、可实现 532-950 nm 的荧光探测，拉曼波数低至 50 cm^-1。

灵活的样品装载

可通过带有视窗玻璃的开关门快速载入样品。

典型应用