高低温光电测试系统是用于测试半导体器件在不同温度条件下的光电性能的设备。通常用于研究光电器件在极端温度环境中的表现，以便更好地了解它们在实际应用中的可靠性和性能。

特征和功能

温度控制系统： 这种测试台通常配备了高精度的温度控制系统，能够在一定范围内调节温度。这允许研究人员测试器件在低温和高温条件下的性能。

光电测试功能： 系统配备了光耦针座，可选配手动耦合和电动耦合版本，实现测量器件在不同温度下的光电参数，如光电流、光响应等。

探针和夹具： 探针台通常具有可调节的探针和夹具，以确保在不同温度条件下仍然能够有效地连接和测试光电器件。

数据采集和分析： 系统可以搭配各种仪表如半导体参数分析仪、网络分析仪、信号发生器等，以记录和分析测试期间获取的光电性能数据。

本系统在研究和开发新型光电器件时提供了在真实工作环境中模拟器件性能的能力。研究人员可以通过在不同温度条件下测试器件来评估

其稳定性、可靠性和性能，从而更好地了解其在各种应用中的适用性。

系统主要功能概述

◎光电测试系统通过光纤，搭配斩波器、白光光源和单色仪，实现多波长单色光的引入，实现在不同波长不同频率下器件的光响应测试；

◎高低温探针台实现样品在变温条件下的上电测试，最大温度范围 -60~300℃；

◎定制化的集成软件可以直接一键完成多种测试并支持生成一串测试数据。

软件功能

MW-ATE 软件基于 python 开发，可实现对机台控制以及仪表测试输出设置，自动生成参数报告。

A.软件提供用户界面登录并支持用户账户管理，操作人员可操作权限设定，保证测试安全性。

B.在测试功能选择界面有四个选项，分别为手动测试 (Manual Test)、测试序列设置 (Sequence Setup), 自动测试（Auto）和数据查看

功能 (Data Log Review), 除此之外，在此界面可以检查测试仪表是否连接正常。

C.Manual Test 即手动 Test 模式支持手动测试界面下可完成对器件芯片单 Die 的测试，可将测试设置存储为 Recipe 文件。

D.Sequence Test。

测试工程师设置界面下读取 wafer map 信息，提供任意 die 的移动操作， 选择后的 die 变为蓝色，点击”Remove Die”后可以已经选择的 die 变为灰色，通过软件右侧 Sample rate 可以快速对正片 wafer 进行选择，如下图所示，分别为 100% 抽样和 X、Y 各 50% 抽样。

AutoTest

如果探针台为全自动机台，测试前需要点击“Scan Wafer”键获取当前晶圆盒里 wafer 信息，如果半自动机台直接点击“start Autorun” 即可，在软件右侧会显示当前测试各项指示信息和实时测试曲线图，主界面可切换显示实时 map 图和测试数据。