真空光电器件是一类在真空环境中工作的光电子器件，通常包括光电倍增管（Photomultiplier Tube, PMT）、光电二极管（Photodiode）、光电三极管（Phototransistor）等。这些器件在真空环境中使用的原因主要是为了避免气体对光电子性能的影响，同时提高光电子件的灵敏度响应速度。

系统框图

系统主要功能概述

◎光电测试系统通过柯勒照明的显微光路，实现多路激光的引入，搭配反射式长工作距物镜，实现在高工作距离上的入射，并预留多路激光扩展接口；

◎桌面式真空探针台实现样品在真空条件下的上电测试，台面下方有电动位移台，精度百 nm 级，可以实现高精度 mapping；

◎定制化的集成软件可以直接生成 mapping 图和对应的测试数据并支持在线预览和导出；

系统硬件

◎中心波长：1064&355nm，各自出口输出；

◎最大输出功率：＞ 30mW@1MHz,355nm；

◎软件可调双通道出光衰减比；

◎重频：10~3000KHz 可调，低于 10KHz 用信号源进行外触发；

◎光斑直径：1.5±0.5mm； ◎冷却方式：水冷，含水冷机；

◎偏振：水平线偏； ◎脉宽：＜ 10ps；

◎光束质量：M2≤1.5； ◎脉冲稳定性：＜ 3%；

◎功率稳定性：＜ 3% RMS@8h；

◎ Burst Mode：脉冲个数 1~9 个，根据重频限定；

桌面式真空探针台实现样品在真空条件下的上电测试，未来可升级77K 低温及高低温变温环境测试。

桌面式真空探针台

电动 XYZ 载台

◎室温真空度 10-3Torr，基础温度优于 10-6Torr；

◎ O 圈密封；

◎可拆卸窗口；

◎快速放气阀门 ；

◎ 4 个探针臂接口；

◎ XYZ 行程 50x50x15mm；

◎精度 ±0.5um，承重 10kg；

◎可提供二次开发包；

软件控制

软件基于 python 开发，可实现对机台控制以及仪表测试输出设置，自动生成参数报告。

◎软件提供用户界面登录并支持用户账户管理，操作人员可操作权限设定，保证测试安全性。

◎在测试功能选择界面有四个选项，分别为手动测试 (Manual Test)、测试序列设置 (Sequence Setup), 自动测试（Auto）和数据查看功能 (DataLog Review), 除此之外，在此界面可以检查测试仪表是否连接正常。

◎ Manual Test 即手动 Test 模式支持

Sequence Test

测试工程师设置界面下读取 wafer map 信息，提供任意 die 的移动操作， 选择后的 die 变为蓝色，点击”Remove Die”后可以已经选择的 die 变为灰色，通过软件右侧 Sample rate 可以快速对正片 wafer 进行选择，如下图所示，分别为 100% 抽样和 X、Y 各 50% 抽样。

设置好 wafermap 后在 recipe files 中点击 load 按键加载 manual test 中已经保存好的测试设置。

◎ AutoTest

如果探针台为全自动机台，测试前需要点击“Scan Wafer”键获取当前晶圆盒里 wafer 信息，如果半自动机台直接点击“start Autorun” 即可，在软件右侧会显示当前测试各项指示信息和实时测试曲线图，主界面可切换显示实时 map 图和测试数据。