设备展示

主要功能描述

◎超高真空（UHV）环境下对器件进行电学或光电测试，极限真空度可达 10-8 mbar；

◎高精度 LCC 插片式电学测试，配备多针 LCC 插槽和 BNC 测试终端，电流噪音低至飞安级；

◎制化的荧光与拉曼光谱测试，可根据要求定制具有不同激发波长、光谱探测范围与精度、成像质量等参数的光学系统；

◎多样化的光电测试，可根据要求定制光电器件测试功能，如光电流测试和 LED 测试；

◎配有气体管路，可向腔体内通入气体，对器件进行气敏测试；◎体具有便携式设计，可以快速地载入样品，方便与各类系统进行集成。