产品特点
最多 6 个探针臂
◎可配置直流、射频、光纤
◎进口高精度导轨实现微米级扎针稳定性
◎探针臂 XYZ 三维移动实现扎针换样测试抽真空破真空接口
◎ 6mm 快插式破真空接口带 进口 1psi泄压阀
◎ KF25 抽真空接口特殊形状窗口 ( 如凹窗 )
◎可定制适显微光路的内凹式窗口高分辨率显微镜系统
◎可以对 m 级 PAD 扎针进行测试
◎ 7:1 连续变倍单筒显微镜，LED 环形光光源
◎ 500 万像素 CCD 相机可进行拍照 , 录像便携式显微镜支架
◎面内 360 旋转，手轮微调一体式气浮减震系统
◎采用一体式设计，减小占地面积
◎隔振方式 : 高精度空气弹簧 共振频率 ( 垂直 )：1.5-3Hz 共振频率 ( 水平 )：1-2HZ
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制冷方式 |
防辐射屏 |
温度范围 |
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制冷方式 |
闭循环制冷机 |
材料 |
镀金无氧铜 |
KDE412SA |
<4K-350K |
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制冷剂类型 |
气动驱动GM循 |
尺寸 |
203 mm |
样品台温度范围 |
~10K-350K |
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窗口材料 |
高纯石英-65mm |
接口 |
6(标准) |
高温选件 |
20K-700K |
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真空腔 |
盖子 |
可拆卸盖子与氟化钙窗口 |
温度精度 |
1mK |
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材料 |
铝合金 |
安装 |
1级冷头 |
稳定性 |
0.1K |
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光学窗口 |
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窗口材料 |
CaF2 |
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窗口直径 |
63 mm |
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探针臂 |
样品台 |
抽真空和制冷时间 |
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操作方式 |
手动 |
接地 |
2英寸 |
抽真空时间 |
*(<5.0*10-4mTorr) |
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波纹管 |
不锈钢 |
三同轴 |
2英寸包含三同轴Triaxial接口 |
分子泵组 |
~10 minutes |
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移动 |
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可根据客户需求定制样品台 |
基础温度时间 |
~2 -21/2 hours |
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X方向 |
50 mm |
温控系统 |
*系统的实际真空度取决于它本身的真空泵。通过适当的抽真空 系统，该系统能够实现10^-6托的真空水平。 |
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Y方向 |
25 mm |
温度传感器 |
PT-100:安装在防辐射屏用于温度监视和 控制 |
样品台振动 |
<1 micron |
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Z方向 |
25 mm |
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DT-670-cu:安装在样品台用于温度监和 控制 |
减震系统 |
2级减震 |
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精度 |
3 micron |
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PT-100:安装在探针臂用于温度监视 |
一级减震(低频) |
软垫脚 |
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探针臂接口 数量 |
6(标准) |
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二级减震(高频) |
超软铜辫传输最大的冷却功率 和最小的振动从冷头到样品 |
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直径 |
220mm |
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