产品特点
◎可配置直流、射频、光纤
◎进口高精度导轨实现微米级扎针稳定性
◎探针臂 XYZ 三维移动实现扎针换样测试抽真空破真空接口
◎ 6mmm 快插式破真空接口带 进口1psi 泄压阀
◎ KF25 抽真空接口特殊形状窗口 ( 如凹窗 )
◎可定制适显微光路的内凹式窗口高分辨率显微镜系统
◎可以对 m 级 PAD 扎针进行测试
◎ 7:1 连续变倍单简显微镜,LED 环形光光源
◎ 500 万像素 CCD 相机可进行拍照,录像便携式显微镜支架
◎面内 360 旋转,手轮微调一体式气浮减震系统
◎采用一体式设计,减小占地面积
◎隔振方式:高精度空气弹簧共振频率 ( 垂直 ):1.5-3Hz共振频率 ( 水平 ):1-2Hz
制冷方式 |
真空腔 |
防辐射屏 |
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制冷方式 |
开循环连续流 |
材料 |
铝合金 |
材料 |
镀金无氧铜 |
制冷剂类型 |
液氮或液氦 |
探针臂接口数量 |
6(标准) |
尺寸 |
203 mm |
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直径 |
220mm |
接口 |
6(标准) |
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窗口材料 |
高纯石英-65mm |
盖子 |
可拆卸盖子与氟化钙窗口 |
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安装 |
液氮回留平台 |
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/ |
光学窗口 |
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窗口材料 |
CaF₂ |
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窗口直径 |
63 mm |
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温度范围 |
探针臂 |
窗口直径 |
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液氮 |
<80K-500K |
移动方式 |
面内360旋转,手轮微调 |
操作方式 |
手动 |
高温选件 |
80K-700K |
X方向高精度丝杆行程 |
28cm |
波纹管 |
不锈钢 |
温度精度 |
1mK |
Z方向高精度丝杆行程 |
8.5cm |
移动 |
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稳定性 |
士0.1K |
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X方向 |
50 mm |
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存储功能 |
支持外接U盘存储 |
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Y方向 |
25 mm |
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Z方向 |
25 mm |
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精度 |
3 micron |