功能/型号

FS-ZH4

FS-ZH6

FS-ZH8

FS-ZH12

样品台尺寸

4英寸

6英寸

8英寸

12英寸

样品吸附方式

真空吸附

样品台旋转

360度旋转，±10度微调

样品台升降

有，10mm升降行程

样品台行程

100mm*100mm

155mm*155mm            210mm*210mm

310mm*310mm

样品台移动精度

2um

显微镜固定

龙门架结构，提高显微镜的移动精度

显微镜移动行程

50mm*50mm

显微镜类型

单筒显微镜、体视显微镜、金相显微镜

显微镜倍率

最大2000X

显微镜移动

平移台精密移动

针座平台

U型结构，可兼容探针卡

探针座数量

6个

8个                   10个                  10个

探针座移动行程

12mm*12mm*12mm

探针座移动精度

5um/2um/lum/0.7um/0.5um

探针夹具

同轴线缆/三轴线缆

接头类型

三轴接头/同轴接头/香蕉头/射频接头等

探针

钨钢或者铍铜，针尖半径可选

可搭配仪器

源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等

其他附件

高温配置、镀金样品台、屏蔽箱、光学平台、转接头、转接线等