产品介绍
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动;从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF 探针台,LCD 平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。
产品特点
◎手动调节型 ◎真空吸附固定样品 ◎显微镜立柱结构固定
◎环形光及同轴光兼容设计,可快速切换 ◎带拍照、录像、测量功能
◎探针座及样品台调节机构采用无虚位设计 ◎自适应防震基座 ◎可按需定制
功能/型号 |
FS-4-MN |
FS-4 |
FS-6 |
FS-8 |
样品台尺寸 |
4英寸 |
4英寸 |
6英寸 |
8英寸 |
样品吸附方式 |
真空吸附 |
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样品台旋转 |
360度旋转,±10度微调 |
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样品台升降 |
无 |
有,10mm升降行程 |
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样品台行程 |
50mm*50mm |
100mm*100mm |
155mm*155mm |
210mm*210mm |
样品台移动精度 |
10um |
2um |
2um |
2um |
样品台升降 |
无 |
10mm |
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针座平台 |
方形结构 |
U型结构,可兼容探针卡 |
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显微镜类型 |
单筒显微镜、体视显微镜 |
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显微镜倍率 |
最大200X |
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显微镜移动 |
绕立柱360度旋转 |
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探针座数量 |
4个 |
6个 |
8个 |
10个 |
探针座移动行程 |
12mm*12mm*12mm |
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探针座移动精度 |
5um/2um/1um/0.7um/0.5um |
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探针夹具 |
同轴线缆/三轴线缆 |
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接头类型 |
三轴接头/同轴接头/香蕉头/射频接头等 |
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探针 |
钨钢或者铍铜,针尖半径可选 |
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可搭配仪器 |
源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 |
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其他附件 |
高温配置、镀金样品台、屏蔽箱、光学平台、转接头、转接线等 |