基本参数

◎超高真空 UHV 腔体，CF 法兰密封，真空漏率小于 1*10-10 mbar·l/s；极限真空度根据采用的真空泵组而定，可以达到 10-8 mbar。

◎配备 3 个 4pin BNC 穿通件法兰，BNC 接口达到 12 个；DC 测量电流噪音小于 0.1 pA。

◎配备可定制大小的光学视窗（如熔融石英），厚度最低可达 1mm；外部物镜最小工作距离 10mm；腔体配有 XY 平移台，行程 ±15mm，精度 1 μm。

◎配有进气波纹管阀门，可向腔体内通入气体。

◎配备气浮光学平台与光学系统连用，尺寸 900 mm * 600 mm * 80 mm，配有空气压缩机。

◎配备普发进口分子泵站 Hicube 80 与全量程真空计 PKR361，抽速 35 L/s，真空测量范围：1x10-9-1x103 mbar。