设备介绍

滨松激光驱动光源，创新 LDLS 技术使用激光将氙等离子体直接加热到有效产生深紫外线所需的高温。在诸如弧光灯和氘灯的传统方法中，亮度，UV 功率和灯寿命受到电极使用的限制。无电极 LDLS 技术可产生小的高亮度等离子体，具有高效的光收集能力，可在深紫外至可见光以及近红外光谱范围（170-2100nm) 内提供超高发光亮度，尤其是 DUV 波段的亮度，可达到传统光源如氙灯的 10 倍以上。另外，整个光源的发光寿命相较于传统光源也高出近一个数量级（>9000h), 稳定性也获得了极大的提高。

典型应用

半导体计量检测、传感器测试与校准、实验室研究